半導體產業的職業災害

2000/05/24
◎Environmental Health Perspectives. Volume 107. Number9/苦勞工作站翻譯

1996年128名IBM員工及其家人(其中已有11人死於癌症),控告化學製造廠柯達公司(Eastman Kodak Company)、Union Corporation、J.T. Borer和KIT Chemicals。他們宣稱由於工作時暴露於危險的化學物質中,使他們的健康受到嚴重的傷害--包括癌症和流產。雖然紐約州的工人賠償法讓員工無法直接控告IBM,但他們子女可以!他們之中已有16個員工子女與其對簿公堂--宣稱這些化學物質導致了新生兒的先天缺陷。

紐約這個案子是三個主要環境健康訴訟案之一,其中包含了半導體產業,也就是大家熟知的電腦晶圓產業。在聖荷西(San Jose)、加州,另一群前IBM員工(他們已得了癌症)和家人控訴IBM公司和化學供應商,他們宣稱工廠使工人暴露於致癌的化學物質中,超過三十年之久。同時,70位蘇格蘭女士控告另一家美國公司--以加州Santa Clara為重心的全國半導體公司,宣稱她們也暴露在致癌物質中。

這些訴訟案使得這個「全世界最大也成長最快的製造部門」的環境與職業傷害受到高度關注。價值1500億美元的半導體產業於25年前悄悄地在Santa Clara的矽谷開始發展,隨之驚人地成長。今天,你可以在美國的Arizona、Massachusetts、Virginia、Texas、New Mexico、Oregon和Idaho等州和亞洲、歐洲、拉丁美洲、加勒比海等地發現超過900家的晶圓廠。

由於它的規模和成長,電腦晶圓業被視為世界經 1996年128名IBM員工及其家人(其中已有11人死於癌症),控告化學製造廠柯達公司(Eastman Kodak Company)、Union Corporation、J.T. Borer和KIT Chemicals。他們宣稱由於工作時暴露於危險的化學物質中,使他們的健康受到嚴重的傷害--包括癌症和流產。雖然紐約州的工人賠償法讓員工無法直接控告IBM,但他們子女可以!他們之中已有16個員工子女與其對簿公堂--宣稱這些化學物質導致了新生兒的先天缺陷。

紐約這個案子是三個主要環境健康訴訟案之一,其中包含了半導體產業,也就是大家熟知的電腦晶圓產業。在聖荷西(San Jose)、加州,另一群前IBM員工(他們已得了癌症)和家人控訴IBM公司和化學供應商,他們宣稱工廠使工人暴露於致癌的化學物質中,超過三十年之久。同時,70位蘇格蘭女士控告另一家美國公司--以加州Santa Clara為重心的全國半導體公司,宣稱她們也暴露在致癌物質中。

這些訴訟案使得這個「全世界最大也成長最快的製造部門」的環境與職業傷害受到高度關注。價值1500億美元的半導體產業於25年前悄悄地在Santa Clara的矽谷開始發展,隨之驚人地成長。今天,你可以在美國的Arizona、Massachusetts、Virginia、Texas、New Mexico、Oregon和Idaho等州和亞洲、歐洲、拉丁美洲、加勒比海等地發現超過900家的晶圓廠。

由於它的規模和成長,電腦晶圓業被視為世界經濟的火車頭。根據1998年1月發行的「國際半導體」,至少有127家新的半導體製造廠處於不同的計畫與建造階段,總共預計花費超過1150億美元。「我想,全世界正在目睹一個歷史上最大的產業擴張。」Dan Herr,一位半導體研究協會(Semiconductor Research Association,位於南加州的Research Triangle Park)的主持者這樣說。 有毒的工作?

然而,伴隨驚人的經濟成長而來的是巨大的環境傷害。半導體廠商用了大量的有毒物質去製造電腦配備,如磁碟機(disk drives)、印刷電路板(circuit boards)、影像播放設備,還有矽晶圓片本身。每年2200億的矽晶圓片製造出的有毒物質是驚人的,且包含高度腐蝕性的氯化氫酸,諸如砷、鎘等物質;還有揮發性的溶劑,像是木精三氯甲浣、甲苯、苯、丙酮,和三氯乙烯;還有有毒氣體,像是arsine。許多上述的物質已知,或有很大的可能是致癌物質。

美國勞工局於1999年4月發行的勞工統計資料顯示,半導體產業工人得到職業病的機率是其他製造部門工人的兩倍。Bruce Fowler,University of Maryland(in College Park)的病理學研究主持者研究製造晶圓所用的有毒化學物質。他相信和此有關的健康問題是長期暴露在混合化學物質裡的結果。「這個產業沒有一個限定的製造程序,因此沒有辦法指出是哪些物質的混合造成疾病,有些工廠使用300種以上的化學物質。」Fowler如是說。此外,許多製造程序發生於密閉系統中,這暗示了有毒物質的暴露難以檢查,除非在每天檢驗的基礎上。接觸有毒物質的主要兩個路徑:一是吸入,一是皮膚接觸。雖然工人從頭到腳穿著保護的衣服,研究者認為可能是「無塵室」(製造微晶片的地方)的空氣循環使工人暴露於有毒的物質之下。

Lee Neal,一個(以聖荷西為主的)半導體產業聯盟的安全、健康與環境事物的公關經理說:「假定工人自動地暴露於半導體所用的化學物質是錯誤的。電子產業使用最先進的製造設備和化學轉移系統,可以防止身體接觸化學物質,此外,我們產業所用的化學品,很多其他產業也在使用,但我們並沒有在他們的環境中發現重大的健康和安全問題。」

1995年12月發行的American Journal of Independent Medicine中有一個對15家半導體廠商所做的研究。研究顯示,在矽晶圓廠製造室裡處理化學物質的女工有14%的流產率。在同一產業工作但不在裝配部門的女工則有10%的流產率。這份研究是由University of California at Davis的研究員所做,且由半導體廠商共同贊助。Neal認為,這項發現是半導體工業從工作場所移除Glycol ethers的重要基礎。

最近關於工人和流產率的爭議發生於蘇格蘭的Greenock的國家半導體工廠。70名女工控告公司,宣稱她們有了癌症和生殖問題,而這是在工廠裡工作的結果。公司在1999年5月27日發行的《Journal of Commerce》中辯稱,「我們認為訴訟是沒有意義的。個人的健康被各種因素所影響,諸如家庭健康史、飲食習慣和抽煙習慣等。」

關於半導體工人暴露於化學物質對健康的長期影響,其實我們知道的很少。的確,並沒有任何半導體工人癌症率的研究。「一般說來,我們知道的約有10%的癌症是由工人暴露於化學物質所引起,但就個別案例來說,沒有辦法證明,特定的化學物質導致特定的癌症,」Joseph LaDou,加州舊金山大學(University of California at San Francisco)職業與環境醫學系的主任說,「對於長期暴露於低量化學物質、低量化學物質混合物,及化學反應產物的後果,我們一無所知。」「這就是我們對電子產業格外憂心的原因,它採用的是21世紀的技術,但對其原料毒理學的處理,卻還停留在19世紀。」

一些科學家,包括Fowler和LaDou,預測半導體產業中的癌症罹患率未來將顯著地增加,因為半導體是個相對新興的產業,而癌症可能在20到25年後才會在工人身上顯現。「下個十年,我們將會看到更多的電腦晶片工人癌症報告。」Fowler說。

這個「未來」已經在現在發生了,因為半導體雇員已集體控告這個產業,。1995年,Keith,紐約案例的原告之一,打籃球時鼠蹊部感到劇烈疼痛。當趴碰觸自己的左睪丸時,感覺到一個25分錢大小的腫瘤。隔天他去看醫生,醫生告訴他他得了睪丸癌。Barrack從1986到1990年,在IBM位於紐約East Fishkill的半導體工廠工作。他不抽煙、不喝酒,生活規律,一向以自己運動員班的強壯身體自豪。他相信他的癌症是IBM工廠的工作使他暴露於化學物質所引起的。

Debbie Drew,另一位原告(亦為工廠的工人),她宣稱她長了因職業誘發的腦瘤,並且為了動手術而全身麻痺。Drew在1989年離開半導體產業。她的先生,Henry,堅定地認為,美國政府(尤其是職業健康和安全管理局,OSHA)於1980年代時,早應在半導體產業的監督上扮演更強有力的角色。「我寫信給OSHA,卻從來沒得到回信。我記得OHSA的官員只來工廠檢查過一兩次。看看這麼多生病的人,你一定會認為OSHA應該更仔細的檢驗。」

OHSA和半導體產業的發言人很快地辯解說,他們的組織已經幫助了暴露於危險化學物質下的工人,以及那些面臨職業安全與健康風險的工人。「OSHA的首要目標是拯救生命,預防傷害和保護美國工人的建康,當然也包括半導體產業的工人,」Rick Fairfax(OSHA's director of compliance programs)說,「半導體的工作場所,只有在沒有預料的混亂情形下才會使工人短暫暴露於嚴重有毒物質中,但那是難以預測與監控的。然而OSHA真的有監督半導體產業,也的確作了檢驗。但由於這個產業的低傷害信和低疾病率記錄,使它沒有出現在OSHA的追蹤檢查系統(programmed inspection targeting system)裡。」

美國勞工統計局把半導體產業描繪為最安全的產業之一,工人生病的比率是其它製造業平均的三分之一。「就我所看到的,半導體產業真的很注重健康,」現任半導體產業健康顧問,曾在OSHA工作多年的Don Lassiter說,「他是所有製造業的模範。」

David P. Stangis,Intel公司位於Santa Clara辦公室的環境健康安全管理經理說,「從Intel的觀點來看,對個別案例下任何評論都是不適宜的。個人的遭遇是真的很悲慘,我們也很同情這些員工和他們的家人,但用他們來刻畫整個產業是與事實不符的。」

William DeProspo,一位紐約州Goshen的律師,代表Barrack、Drew和紐約IBM訴訟案的其他原告,反駁了「並非是這些化學物質導致其委託人的疾病」的說法,「我的委託人原本有最健康的身體,不被允許在工作場所抽煙,公司也給他們最好的健康津貼--我實在找不出記錄更好的委託人了。」

Chipping Away at the Environment?

半導體產業的負面影響不只是影響人類健康而已。根據批評者的說法,半導體產業對環境的傷害也同樣嚴重。Santa Clara中心職業安全與健康的執行長,JoLani Hironaka說:「製造晶圓廠所需的化學品與其他原料的工廠不斷增加,且生產過程所製造的廢料也不斷增加。」例如,根據E/The Environmental Magazine1997年5-7月號的一篇文章指出,一片8英吋電腦晶片的製造過程需耗費27磅的化學物品與29立方英呎的危險氣體。製造相同的晶片也產生了9磅有害廢棄物與378加侖的廢水,然後需要更多的化學物質來去除毒性。

有許多文件詳細記載了半導體產業對環境的影響。矽谷是美國29個環境保護局(Environmental Protection Agency,EPA)superfund national list sites的所在地,超過了美國任何其他州的數量。在當地的飲用水中發現了超過100種的污染物,且都達到了危險量。在矽谷,製造晶圓片所產生的流動廢棄物,有許多都儲存在地下大水槽中,其中許多有毒的廢棄物滲透進地下水中。

1970、80年代設計的superfund site關閉了矽谷數十個飲用水源。例如,1982年加州官員在Fairchild半導體公司位於聖荷西南部的工廠附近發現居民的飲用水中還有有毒溶劑,包括1,1,1-tricholoroethane和1,1-dichloroethene,因而關閉了此一水源。1984年,加州政府健康服務部門發佈了一項研究結果,斷定這些居民了遭受流產和嬰兒先天缺陷的威脅。1986年,Fairchild公司答應賦給500多名受害者一筆未公開的數目。

晶圓片的製造曾一度使用氟氯碳化物(CFCs),這種會破壞臭氧層的化學物質。直到1995年為止,Intel、美國Toshiba、Hewlett-Packard公司和其他電腦公司已經宣布:根據Montreal Protocol(一份要求逐漸減少並最終停止使用CFCs的國際公約),他們已經在製造過程中停用CFCs。

根據Lynn Goldman的說法,半導體產業已經消除了其最壞的環境污染問題,80年代初期,矽谷有大量的問題,包括溶劑的使用、廢棄物處理的問題。 但今天,這個產業是整個經濟體系中被檢驗的最嚴密的部門,並且其環境記錄也有了顯著的改善。目前我們主要關心的是工人暴露於化學物質與無塵室的情形。

When the Chips Down

半導體產業積極的為其所受之指控辯護,產業發言人堅稱,電子業已努力的在製造過程中去除對工人和環境有害之物質。他們指出,在1992年IBM所做的研究顯示,他們的兩家工廠裡有1/3的女性員工流產之後,流動廢棄物已不再儲存於地下水槽之中,且丙三醇醚也已大量地從製造過程中剔除。

過去二十年,半導體產業已和政府與研究部門建立了研究的合作關係。1982年,半導體研究協會建立了半導體研究公司,作為非營利的產業伙伴。今天,他每年花兩百萬美元於研究計畫中。Herr說:「研究如何減少產業中的化學物質與污染物是值得的。因為那是使半導體產業技術進步和保持競爭力的唯一方法。」1987年,SEMATECH(一個位在Austin,Texas,半導體製造者的非營利組織),以每年兩億美元的預算建立,其中一半是從美國國防部而來。根據Jose-based Silicon Valley Toxic Coalition(一個檢驗半導體產業的環境記錄的公益組織)的執行長Ted Smith,由於Campaign for Responsible Technology(一個國家的勞工、環境組織)成功的遊說,其中10%的預算用於環境技術的研究。

1995年11月,Intel的首要晶圓製造設施被挑選去參與EPA的一個計畫『Project XL』。此計畫的目標在於促進對環境保護有益的製造方法的發展。1996年11月,作為此計畫的一部份,Intel開始發展一新的環境標準,以取代過去命令-控制之規範方法。1997年1月,Intel、EPA與Arizona的環境品質部簽了一份共同合約,開始執行此計畫。

藉著以合作性的運作協議代替既存的法規結構,Project XL允許半導體製造者避開成本高昂且花費時間的許可檢驗。數個勞工、環境與公益組織批評:此計畫使廠商免於法律的監督,對那些違反環境法規的廠商來說,真是一個好消息。Smith說「柯林頓曾經承諾要使公司對工人與社區負更多責任,這份協定明顯的違反了他的承諾。它將使工人與Arizona的居民接觸更多有毒物質。」

然而,美國政府強烈的為Project XL辯護。他們認為此協定使原本分散的環境許可,如水、空氣的許可,連結為一單一的許可,如此可以省下大量的金錢與時間。官員認為還有其他好處,例如它為晶片製造設施的建造提供優惠,並使廠商的製造過程有更大的彈性。the EPA's Region IX 的行政人員,Felicia Marcus說「這是未來環境保護的趨勢,產業、法規、社區為公眾健康與環境保護攜手合作,可以預見更好的環境與經濟發展攜手並進。」

近來,半導體產業因為不支持針對其產業的環境與健康問題之研究而飽受批評。LaDou說「任何先進的研究被提出,產業代表總是盡可能的挑毛病,並否定進步的可能性」

1997年,加州的健康服務部門,在EPA的援助下,發展了一個計畫,想要利用加州區民的健康記錄去研究電子業工人的疾病發生率。此計畫將發展一個記錄系統,用來監測和辨認工人得癌症與生育疾病的範圍。但1998年1月,半導體產業公開地拒絕參與。Intel的發言人,Tim Mohin在一個廣被紀錄的發言中說道「參與像這樣的計畫如同給予原告新發現,無異於舉槍射向自己。」

1998年1月27號,LaDou寫信給NIOSH的執行長Linda Rosenstock,要求NIOSH介入此事,並爭論道「NIOSH可以給我們第一個機會去瞭解電子業工人得癌症與生育缺陷的範圍。」三星期之後,Rosenstock回信說:「NIOSH有權利驅策NIOSH領域的研究,但沒有權利要求產業或廠商加入。」

日益激烈的經濟競爭使半導體產業加速了改變的腳步。70年代初期,新技術從研發到用於製造過程需要6至8年的時間,在邁向21世紀的今天,產業發展一個新的製造過程只需2至3年。Intel的報告中說,為了製造新型的晶圓,在製造過程中每年約有30到60個重大改變。產業的批評者說,每年有幾百種新的化學物質被引進生產過程,沒有適當的毒理學評估可以趕上這種速度。Smith認為:「工人已變為實驗的天竺鼠。」

關於半導體產業的問題,產業的經理人相信製造過程的發展提供改善環境的重要機會。Stangis說「每個發展循環的開始,我們都緊密的和化學物品供應商商討並設定我們的環境目標。」

關於監測的問題,Goldman說:「這個產業創新的速度很快,每次它改變使用設備,就必須從聯邦政府取得新的許可。雖然取得許可,社區居民與員工仍然無法相信檢測是充分的。」Goldman建議:「我們需要新的環境管制辦法,一個可以給廠商更多彈性並使廠商負更多責任的方法。」

濟的火車頭。根據1998年1月發行的「國際半導體」,至少有127家新的半導體製造廠處於不同的計畫與建造階段,總共預計花費超過1150億美元。「我想,全世界正在目睹一個歷史上最大的產業擴張。」Dan Herr,一位半導體研究協會(Semiconductor Research Association,位於南加州的Research Triangle Park)的主持者這樣說。 有毒的工作?

然而,伴隨驚人的經濟成長而來的是巨大的環境傷害。半導體廠商用了大量的有毒物質去製造電腦配備,如磁碟機(disk drives)、印刷電路板(circuit boards)、影像播放設備,還有矽晶圓片本身。每年2200億的矽晶圓片製造出的有毒物質是驚人的,且包含高度腐蝕性的氯化氫酸,諸如砷、鎘等物質;還有揮發性的溶劑,像是木精三氯甲浣、甲苯、苯、丙酮,和三氯乙烯;還有有毒氣體,像是arsine。許多上述的物質已知,或有很大的可能是致癌物質。

美國勞工局於1999年4月發行的勞工統計資料顯示,半導體產業工人得到職業病的機率是其他製造部門工人的兩倍。Bruce Fowler,University of Maryland(in College Park)的病理學研究主持者研究製造晶圓所用的有毒化學物質。他相信和此有關的健康問題是長期暴露在混合化學物質裡的結果。「這個產業沒有一個限定的製造程序,因此沒有辦法指出是哪些物質的混合造成疾病,有些工廠使用300種以上的化學物質。」Fowler如是說。此外,許多製造程序發生於密閉系統中,這暗示了有毒物質的暴露難以檢查,除非在每天檢驗的基礎上。接觸有毒物質的主要兩個路徑:一是吸入,一是皮膚接觸。雖然工人從頭到腳穿著保護的衣服,研究者認為可能是「無塵室」(製造微晶片的地方)的空氣循環使工人暴露於有毒的物質之下。

Lee Neal,一個(以聖荷西為主的)半導體產業聯盟的安全、健康與環境事物的公關經理說:「假定工人自動地暴露於半導體所用的化學物質是錯誤的。電子產業使用最先進的製造設備和化學轉移系統,可以防止身體接觸化學物質,此外,我們產業所用的化學品,很多其他產業也在使用,但我們並沒有在他們的環境中發現重大的健康和安全問題。」

1995年12月發行的American Journal of Independent Medicine中有一個對15家半導體廠商所做的研究。研究顯示,在矽晶圓廠製造室裡處理化學物質的女工有14%的流產率。在同一產業工作但不在裝配部門的女工則有10%的流產率。這份研究是由University of California at Davis的研究員所做,且由半導體廠商共同贊助。Neal認為,這項發現是半導體工業從工作場所移除Glycol ethers的重要基礎。

最近關於工人和流產率的爭議發生於蘇格蘭的Greenock的國家半導體工廠。70名女工控告公司,宣稱她們有了癌症和生殖問題,而這是在工廠裡工作的結果。公司在1999年5月27日發行的《Journal of Commerce》中辯稱,「我們認為訴訟是沒有意義的。個人的健康被各種因素所影響,諸如家庭健康史、飲食習慣和抽煙習慣等。」

關於半導體工人暴露於化學物質對健康的長期影響,其實我們知道的很少。的確,並沒有任何半導體工人癌症率的研究。「一般說來,我們知道的約有10%的癌症是由工人暴露於化學物質所引起,但就個別案例來說,沒有辦法證明,特定的化學物質導致特定的癌症,」Joseph LaDou,加州舊金山大學(University of California at San Francisco)職業與環境醫學系的主任說,「對於長期暴露於低量化學物質、低量化學物質混合物,及化學反應產物的後果,我們一無所知。」「這就是我們對電子產業格外憂心的原因,它採用的是21世紀的技術,但對其原料毒理學的處理,卻還停留在19世紀。」

一些科學家,包括Fowler和LaDou,預測半導體產業中的癌症罹患率未來將顯著地增加,因為半導體是個相對新興的產業,而癌症可能在20到25年後才會在工人身上顯現。「下個十年,我們將會看到更多的電腦晶片工人癌症報告。」Fowler說。

這個「未來」已經在現在發生了,因為半導體雇員已集體控告這個產業,。1995年,Keith,紐約案例的原告之一,打籃球時鼠蹊部感到劇烈疼痛。當趴碰觸自己的左睪丸時,感覺到一個25分錢大小的腫瘤。隔天他去看醫生,醫生告訴他他得了睪丸癌。Barrack從1986到1990年,在IBM位於紐約East Fishkill的半導體工廠工作。他不抽煙、不喝酒,生活規律,一向以自己運動員班的強壯身體自豪。他相信他的癌症是IBM工廠的工作使他暴露於化學物質所引起的。

Debbie Drew,另一位原告(亦為工廠的工人),她宣稱她長了因職業誘發的腦瘤,並且為了動手術而全身麻痺。Drew在1989年離開半導體產業。她的先生,Henry,堅定地認為,美國政府(尤其是職業健康和安全管理局,OSHA)於1980年代時,早應在半導體產業的監督上扮演更強有力的角色。「我寫信給OSHA,卻從來沒得到回信。我記得OHSA的官員只來工廠檢查過一兩次。看看這麼多生病的人,你一定會認為OSHA應該更仔細的檢驗。」

OHSA和半導體產業的發言人很快地辯解說,他們的組織已經幫助了暴露於危險化學物質下的工人,以及那些面臨職業安全與健康風險的工人。「OSHA的首要目標是拯救生命,預防傷害和保護美國工人的建康,當然也包括半導體產業的工人,」Rick Fairfax(OSHA's director of compliance programs)說,「半導體的工作場所,只有在沒有預料的混亂情形下才會使工人短暫暴露於嚴重有毒物質中,但那是難以預測與監控的。然而OSHA真的有監督半導體產業,也的確作了檢驗。但由於這個產業的低傷害信和低疾病率記錄,使它沒有出現在OSHA的追蹤檢查系統(programmed inspection targeting system)裡。」

美國勞工統計局把半導體產業描繪為最安全的產業之一,工人生病的比率是其它製造業平均的三分之一。「就我所看到的,半導體產業真的很注重健康,」現任半導體產業健康顧問,曾在OSHA工作多年的Don Lassiter說,「他是所有製造業的模範。」

David P. Stangis,Intel公司位於Santa Clara辦公室的環境健康安全管理經理說,「從Intel的觀點來看,對個別案例下任何評論都是不適宜的。個人的遭遇是真的很悲慘,我們也很同情這些員工和他們的家人,但用他們來刻畫整個產業是與事實不符的。」

William DeProspo,一位紐約州Goshen的律師,代表Barrack、Drew和紐約IBM訴訟案的其他原告,反駁了「並非是這些化學物質導致其委託人的疾病」的說法,「我的委託人原本有最健康的身體,不被允許在工作場所抽煙,公司也給他們最好的健康津貼--我實在找不出記錄更好的委託人了。」

Chipping Away at the Environment?

半導體產業的負面影響不只是影響人類健康而已。根據批評者的說法,半導體產業對環境的傷害也同樣嚴重。Santa Clara中心職業安全與健康的執行長,JoLani Hironaka說:「製造晶圓廠所需的化學品與其他原料的工廠不斷增加,且生產過程所製造的廢料也不斷增加。」例如,根據E/The Environmental Magazine1997年5-7月號的一篇文章指出,一片8英吋電腦晶片的製造過程需耗費27磅的化學物品與29立方英呎的危險氣體。製造相同的晶片也產生了9磅有害廢棄物與378加侖的廢水,然後需要更多的化學物質來去除毒性。

有許多文件詳細記載了半導體產業對環境的影響。矽谷是美國29個環境保護局(Environmental Protection Agency,EPA)superfund national list sites的所在地,超過了美國任何其他州的數量。在當地的飲用水中發現了超過100種的污染物,且都達到了危險量。在矽谷,製造晶圓片所產生的流動廢棄物,有許多都儲存在地下大水槽中,其中許多有毒的廢棄物滲透進地下水中。

1970、80年代設計的superfund site關閉了矽谷數十個飲用水源。例如,1982年加州官員在Fairchild半導體公司位於聖荷西南部的工廠附近發現居民的飲用水中還有有毒溶劑,包括1,1,1-tricholoroethane和1,1-dichloroethene,因而關閉了此一水源。1984年,加州政府健康服務部門發佈了一項研究結果,斷定這些居民了遭受流產和嬰兒先天缺陷的威脅。1986年,Fairchild公司答應賦給500多名受害者一筆未公開的數目。

晶圓片的製造曾一度使用氟氯碳化物(CFCs),這種會破壞臭氧層的化學物質。直到1995年為止,Intel、美國Toshiba、Hewlett-Packard公司和其他電腦公司已經宣布:根據Montreal Protocol(一份要求逐漸減少並最終停止使用CFCs的國際公約),他們已經在製造過程中停用CFCs。

根據Lynn Goldman的說法,半導體產業已經消除了其最壞的環境污染問題,80年代初期,矽谷有大量的問題,包括溶劑的使用、廢棄物處理的問題。 但今天,這個產業是整個經濟體系中被檢驗的最嚴密的部門,並且其環境記錄也有了顯著的改善。目前我們主要關心的是工人暴露於化學物質與無塵室的情形。

When the Chips Down

半導體產業積極的為其所受之指控辯護,產業發言人堅稱,電子業已努力的在製造過程中去除對工人和環境有害之物質。他們指出,在1992年IBM所做的研究顯示,他們的兩家工廠裡有1/3的女性員工流產之後,流動廢棄物已不再儲存於地下水槽之中,且丙三醇醚也已大量地從製造過程中剔除。

過去二十年,半導體產業已和政府與研究部門建立了研究的合作關係。1982年,半導體研究協會建立了半導體研究公司,作為非營利的產業伙伴。今天,他每年花兩百萬美元於研究計畫中。Herr說:「研究如何減少產業中的化學物質與污染物是值得的。因為那是使半導體產業技術進步和保持競爭力的唯一方法。」1987年,SEMATECH(一個位在Austin,Texas,半導體製造者的非營利組織),以每年兩億美元的預算建立,其中一半是從美國國防部而來。根據Jose-based Silicon Valley Toxic Coalition(一個檢驗半導體產業的環境記錄的公益組織)的執行長Ted Smith,由於Campaign for Responsible Technology(一個國家的勞工、環境組織)成功的遊說,其中10%的預算用於環境技術的研究。

1995年11月,Intel的首要晶圓製造設施被挑選去參與EPA的一個計畫『Project XL』。此計畫的目標在於促進對環境保護有益的製造方法的發展。1996年11月,作為此計畫的一部份,Intel開始發展一新的環境標準,以取代過去命令-控制之規範方法。1997年1月,Intel、EPA與Arizona的環境品質部簽了一份共同合約,開始執行此計畫。

藉著以合作性的運作協議代替既存的法規結構,Project XL允許半導體製造者避開成本高昂且花費時間的許可檢驗。數個勞工、環境與公益組織批評:此計畫使廠商免於法律的監督,對那些違反環境法規的廠商來說,真是一個好消息。Smith說「柯林頓曾經承諾要使公司對工人與社區負更多責任,這份協定明顯的違反了他的承諾。它將使工人與Arizona的居民接觸更多有毒物質。」

然而,美國政府強烈的為Project XL辯護。他們認為此協定使原本分散的環境許可,如水、空氣的許可,連結為一單一的許可,如此可以省下大量的金錢與時間。官員認為還有其他好處,例如它為晶片製造設施的建造提供優惠,並使廠商的製造過程有更大的彈性。the EPA's Region IX 的行政人員,Felicia Marcus說「這是未來環境保護的趨勢,產業、法規、社區為公眾健康與環境保護攜手合作,可以預見更好的環境與經濟發展攜手並進。」

近來,半導體產業因為不支持針對其產業的環境與健康問題之研究而飽受批評。LaDou說「任何先進的研究被提出,產業代表總是盡可能的挑毛病,並否定進步的可能性」

1997年,加州的健康服務部門,在EPA的援助下,發展了一個計畫,想要利用加州區民的健康記錄去研究電子業工人的疾病發生率。此計畫將發展一個記錄系統,用來監測和辨認工人得癌症與生育疾病的範圍。但1998年1月,半導體產業公開地拒絕參與。Intel的發言人,Tim Mohin在一個廣被紀錄的發言中說道「參與像這樣的計畫如同給予原告新發現,無異於舉槍射向自己。」

1998年1月27號,LaDou寫信給NIOSH的執行長Linda Rosenstock,要求NIOSH介入此事,並爭論道「NIOSH可以給我們第一個機會去瞭解電子業工人得癌症與生育缺陷的範圍。」三星期之後,Rosenstock回信說:「NIOSH有權利驅策NIOSH領域的研究,但沒有權利要求產業或廠商加入。」

日益激烈的經濟競爭使半導體產業加速了改變的腳步。70年代初期,新技術從研發到用於製造過程需要6至8年的時間,在邁向21世紀的今天,產業發展一個新的製造過程只需2至3年。Intel的報告中說,為了製造新型的晶圓,在製造過程中每年約有30到60個重大改變。產業的批評者說,每年有幾百種新的化學物質被引進生產過程,沒有適當的毒理學評估可以趕上這種速度。Smith認為:「工人已變為實驗的天竺鼠。」

關於半導體產業的問題,產業的經理人相信製造過程的發展提供改善環境的重要機會。Stangis說「每個發展循環的開始,我們都緊密的和化學物品供應商商討並設定我們的環境目標。」

關於監測的問題,Goldman說:「這個產業創新的速度很快,每次它改變使用設備,就必須從聯邦政府取得新的許可。雖然取得許可,社區居民與員工仍然無法相信檢測是充分的。」Goldman建議:「我們需要新的環境管制辦法,一個可以給廠商更多彈性並使廠商負更多責任的方法。」

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