全身冒毒氣的高科技產業

2000/05/18

  聯華電子公司日前在五大報各登半版廣告,說明第五晶圓廠環評事件中聯電種種委屈,並在文中說明聯電如何重視環保,甚至語帶感性地說,台灣歷經百年無計劃之濫墾濫建,以至於沒有環境可保,誠為悲痛,不過,幸好現在引進「零污染、高獲利」高科技產業,不僅有助於經濟成長,甚至可以協助環境修復。

  高科技產業真的是零污染產業,可以協助台灣重新成為美麗寶島嗎?我們在此,僅就高科技產業的空氣污染開始談談聯電所謂「零污染」的真相。

  環保署調查資料顯示,半導體的空氣污染情況是:「國內半導體製造業揮發性有機物年使用量約有一萬一千五百公噸,其中包括苯、甲苯、甲醇、異丙醇、二氯乙烯、三氯乙烯等化學物質,大部分業者所裝設之防制設備並無法有效處理揮發性有機物,致每年排放量約三千公噸,佔使用量百分之三十。另無機酸年使用量則為一萬二千五百公噸,但多數均有設置濕式廢氣洗滌設備,可去除各種酸液,年排放量僅六百公噸。」

  沒有錯,半導體工業沒有冒黑煙的煙囪,可是,它卻是七孔冒煙地排放毒氣,環保署這項統計就有每年三千公噸揮發性有機物和六百公噸無機酸的飄散在大氣中,而且,無法可管。

  半導體工業從八0年代開始在台灣發展,隨即快速成長,晶圓代工產量一路衝上世界第一寶座,產量數字輝煌耀眼,各晶圓廠紛紛擴廠、興建新廠,令人驚訝的是,這些年來,我們竟然都沒有針對半導體產業制定「空氣排放標準」。台灣在引進半導體產業已經二十年,而我們要再等兩個月,才會有「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」這個法令來規範空氣污染問題,聯電口中悲痛的環境破壞,不只是濫墾濫建造成的,它自己更不折不扣是破壞環境的共謀,把製程中有毒氣體大量排放在台灣上空,對環境和人體造成長期和慢性的健康危害。

  環保署其實早從民國八十年就著手調查半導體的空氣污染,調查歸調查,要等到八十七年一月才牛步地公告「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」,要求業者不要亂排廢氣,甚至為了實施這項公告標準,不斷跟半導體業者開會,聽取業者心聲,在業者反映半導體業景氣不佳,或者「宣稱」空污偵測器尚未商品化(空污偵測器早已有很多產品,種類繁多),價格太貴時,特地將此法規拖延到今年七月才要實施。

  這二十年,包括未來兩個月,半導體工業的有毒廢氣大大方方地排放出來,並沒有造成任何環保署所謂的「空氣污染」,因為傳統的空氣污染是著重在二氧化碳量、甲苯等傳統產業的空氣污染排放量,而半導體製程使用的種種化學氣體都不在傳統空氣污染定義中。就這樣,從民國七十年代末迄今,半導體產業數千噸、數萬噸地台放有毒廢氣,卻被捧為最乾淨的工業。

  但事實還不只如此,環保署的數據只是半導體產業排放有毒廢氣的一小部分而已。

  環保署調查低估有毒廢氣排放量的原因有兩個:一是環保署列管有毒氣體項目遠遠少於半導體產業使用的化學氣體,因此,統計使用量時,便低估了實際使用量。比如說金屬屬性氣體(如AsH3、PH3、B2H6、SiH4)未被列入管制項目,這些都是劇毒氣體,累積在人體中會造成嚴重危害。二是,有毒廢氣的排放並不單是在半導體製程之中,當半導體工業廢水在污水處理廠作處理時,仍會有大量有毒廢氣散發出來,這也是環保署調查中估算不到的排放黑數。

  而七月份環保署即將實施的「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」,以及新竹縣環保局通過的「新竹工業園區空氣品質改善計劃」根本達不到防治半導體空氣污染的效果。最大的原因是因為法規和計劃書中,規範的管制氣體種類遠少於半導體所使用的化學氣體,比如說新竹縣環保局列出有害空氣污染物僅二十一種、無機酸、鹼五種,而美國環保署在1990年列出的半導體產業有毒空氣污染物(HAPs)就有189種之多。其次,法規以個別工廠作為規範對象,測試各廠的排放量,可是,除了廠區外,污水處理過程中,由污水中散發的有機廢氣就無法管制。

  更根本的是,環保署要管制污染,必須先要有監測系統來蒐集和掌控環保資訊,才能夠進一步糾舉業者的污染惡行,勒令其改善,但是,直到去年八月(民國八十八年)國科會才「決定」建立科學園區整體環保監測系統,以改善園區內的環保設施,新竹縣環保局也在同一時期,提出「新竹工業園區空氣品質改善計劃書」,才「計畫」要透過現場調查進行監測。法令要等到七月才有,有了法令,發現法令簡陋又破洞擺出,而且根本連監測體系都沒有,談什麼執行和監督? 可見的是,我們在這幾年內,恐怕都還難以處理半導體的空氣污染問題。

  單單從空氣污染來看高科技產業,就可以知道大剌辣登報說自己「零污染」的聯電,他們所謂「哀痛台灣無環境可保」的說詞,是多麼的惺惺作態,這二十年來,聯電靠著沒有環境標準的投資環境,節省下大量的污染防治設費和處理費用,而矯飾地丟小錢給社區和社團舉辦假日環保活動,宣揚所謂的環保概念,這就是這個所謂「零污染」產業的真相。

環保署公告資料: 半導體業空污改善金額約達十二億 半導體製造業空氣污染管制及排放標準

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